Cam I: Roedd gan ffowndrïau sglodion cynnar elw uchel. Maen nhw'n defnyddio peiriannau sputtering magnetron 100-150mm yn bennaf gyda phwer isel. Mae'r ffilm sputtering yn drwchus ac mae maint y sglodion yn fawr.
Bryd hynny,targedau titaniwmar gyfer cylchedau integredig yn bennaf 100-150mm monomer a thargedau cyfansawdd.
Cam Ⅱ:
Yn yr ail gam, yn ôl cyfraith Moore, mae lled y llinell sglodion yn dod yn gulach. Er mwyn cynyddu elw, cynyddodd y ffowndri sglodion bŵer sbuttering yr offer, gan ddefnyddio offer sbuttering 150-200mm yn bennaf. Mae hyn yn gofyn am gynyddu maint y targed tra'n cynnal dargludedd thermol uchel, pris isel, a chryfder penodol. Yn ystod y cyfnod hwn,targedau titaniwmyn cynnwys yn bennaf weldio trylediad o backplane aloi alwminiwm a presyddu a weldio o backplane aloi copr.
Cam III :
Yn y trydydd cam, gyda datblygiad cylchedau integredig, mae lled y llinellau sglodion yn cael ei gulhau ymhellach. Ar yr adeg hon, mae ffowndrïau sglodion yn defnyddio 200-300 peiriannau sputtering mm yn bennaf, ac mae'r gofynion ar gyfer deunyddiau targed yn llymach. Yn ystod y cyfnod hwn, mae'rTi targedyn cael ei wneud yn bennaf o weldio trylediad backplate aloi copr.
