Mae yna lawer o fathau o dargedau sputtering â gofynion purdeb uchel, ac fe'u defnyddir yn eang hefyd yn y diwydiant. Heddiw, byddwn yn siarad am y pedwar math o dargedau sputtering a ddefnyddir yn gyffredin mewn pedwar maes mawr: targedau alwminiwm purdeb uchel, targedau titaniwm, targedau tantalwm, a thargedau titaniwm twngsten. Maent yn cwmpasu meysydd arddangos paneli fflat, lled-ddargludyddion, storio, a chelloedd solar.
Targed alwminiwm (purdeb stoc 99.99 y cant - 99.999 y cant )
Mae alwminiwm purdeb uchel a'i aloion yn un o'r deunyddiau ffilm dargludol a ddefnyddir yn eang. Yn ei faes cymhwysiad, mae gwneuthuriad sglodion VLSI yn gofyn am burdeb uchel iawn o sputtering metel targed, fel arfer mor uchel â 99.9995 y cant, tra bod purdeb metel arddangosfeydd panel gwastad a chelloedd solar ychydig yn is.
Targed titaniwm (purdeb stoc 99.99 y cant - 99.999 y cant )
Mae titaniwm yn un o'r deunyddiau ffilm rhwystr a ddefnyddir yn gyffredin mewn sglodion VLSI (y deunydd haen dargludol cyfatebol yw alwminiwm). Bydd y targed titaniwm yn cael ei ddefnyddio ynghyd â'r cylch titaniwm yn y broses weithgynhyrchu cyn sglodion. Y prif swyddogaeth yw cynorthwyo'r broses sputtering o dargedau titaniwm, a ddefnyddir yn bennaf ym maes gweithgynhyrchu sglodion VLSI.
Targed tantalwm ( purdeb rhestr eiddo 99 y cant , 99.5 y cant , 99.9 y cant , 99.995 y cant , 99.99 y cant , 99.995 y cant , 99.999 y cant )
Gyda thwf ffrwydrol y galw am gynhyrchion electronig defnyddwyr fel ffonau smart a thabledi, mae'r galw am sglodion pen uchel wedi cynyddu'n sylweddol, ac mae tantalwm wedi dod yn adnodd mwynau poeth. Fodd bynnag, oherwydd prinder adnoddau tantalwm, mae targedau tantalwm purdeb uchel yn ddrud ac yn cael eu defnyddio'n bennaf mewn cylchedau integredig ar raddfa fawr a meysydd eraill.
Targed twngsten titaniwm (purdeb 99.95 y cant mewn stoc)
Mae gan aloi titaniwm twngsten symudedd electron isel, priodweddau mecanyddol thermol sefydlog, ymwrthedd cyrydiad da, a sefydlogrwydd cemegol da. Yn y blynyddoedd diwethaf, defnyddiwyd targed sputtering aloi titaniwm twngsten fel deunydd haen cyswllt cylchedau grid sglodion lled-ddargludyddion. Yn ogystal, yng nghysylltiad metel dyfeisiau lled-ddargludyddion, gellir defnyddio targedau twngsten a thitaniwm fel haenau rhwystr. Fe'i defnyddir mewn amgylcheddau tymheredd uchel, yn bennaf ar gyfer VLSI a chelloedd solar.
